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OKANO晶片取置機

將晶粒切割後的工作物(Work)利用4支吸嘴上推吸附,並利用影像處理進行校準(Alignment)修正後,收納於棧板中的裝置。

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將晶粒切割後的工作物(Work)利用4支吸嘴上推吸附,並利用影像處理進行校準(Alignment)修正後,收納於棧板中的裝置。
由於採用X軸線性馬達,可進行雙讀取頭的個別動作,因此具備優異的擴充性。
在中間的交接載台(Stage)部配置檢查單元(Unit),亦可實施各種檢查。

 

應用案例
A
在光學讀取頭之後,將影像檢查OK品堆放於tray
B
在光學讀取頭之後,將特性檢查OK品堆放於tray
C
除平板環供應外,亦可利用影像處理,將隨機供應的工作物整齊排列
D
其他 因應客戶的各種需求


產品規格

加工(Tact

0.50.5/1 (不含取放時間)

對象工作物

0.55.0mm見方

環形平板(Flat Ring

48吋用環形平板(Flat Ring

光學讀取頭面

Y方向±80mm

回收棧板

XY方向±80mm 回收tray 22×16/4×4

精度

±0.02mm以下

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