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壓電奈米定位器
壓電奈米定位器
#axis#奈米#nano#model#nm#定位器#壓電
3-axis Nano-positioner
High voltage amplifier
High voltage amplifier
Including:
1.3-axis Nano-positioner (Model: NP-T-10)
2.High voltage amplifier (Model: E-T-10)
|
3-axis Nano-positioner (Model: NP-T-10) |
unit |
tolerance |
|
Active axis (axes) |
X/Y/Z |
|
|
|
Open-loop travel (X/Y/Z) |
10/10/10 |
mm |
+20% / -0% |
|
Open-loop resolution |
0.2 |
nm |
typ. |
|
Closed-loop travel |
- |
mm |
calibrated |
|
Closed-loop resolution |
- |
nm |
typ. |
-
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