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微塵粒子計數器(氣體)
現代科技產業對於氣體的使用之技術要求日益殷切，而氣體管路在設計建造完成後需經完整測試以確保其能達到當初設計之規範，並且即使在正式運轉作業時也能持續達到要求等級標準，也因此，為了確認無塵能滿足原先設計要
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現代科技產業對於氣體的使用之技術要求日益殷切，而氣體管路在設計建造完成後需經完整測試以確保其能達到當初設計之規範，並且即使在正式運轉作業時也能持續達到要求等級標準，也因此，為了確認無塵能滿足原先設計要求之污染等級標準，測試程序及確效作業便顯得格外重要且關鍵。然而，測試及確效作業不僅須遵守無塵室相關法規設計標準，且在不同階段狀態下（即完工時，機器安裝後及正式運轉時）皆須能持續地符合無塵等級規格；此外，其檢驗測試項目繁多，包括微塵粒子、水份分析、微氧分析等測試。更需輔以各式各樣精密之量測儀器才能獲致最佳之量測數據資料，因此在測試及確效作業上有相當程度之複雜性，而為確保氣體供應能依法規標準正確地操作，針對產業潔淨管路驗証之量測儀器進行探討實乃刻不容緩之要務。氣體的使用在半導體製程中扮演著非常重要的角色，所謂的半導體製程為晶圓的製造流程，其中的製程包括如氧化、離子佈植、蝕刻、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對元件性能、產品良率有著決定性的影響，氣體供應的安全性則關乎人員的健康與工廠運作的安全。因此在設備維修拆卸供氣管路、氣櫃鋼瓶更換、及製程腔體反應後之排放等之吹淨方式選擇就非常的重要。本公司擁有專業氣體管路品質管理服務與微塵粒子計數器專精檢測與維修服務。
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水分&含氧測定
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DELTA-F微氧分析儀為檢驗管路中的含氧份程度，含氧份程度過高會引起腐蝕性及易燃體產生化學作用，為確保管路及設備之運作品質，並依半導體廠對製程氣體管路含氧量之要求，進行必要之測試設備。川研公司專業代 -
HE LEAK QC TEST(氦測漏)
因應半導體廠由於製程特殊需求，必須使用各種不同的氣體，其中不乏具有惰性、毒性、自/助燃及可燃性之氣體，而這些氣態或液態之氣體經由管路輸送，若因操作或管理控制不當，即可能造成重大損失而產生立即性的危害。 -
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