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太陽能矽晶片進料分選設備
* Walking Beam 傳輸方式 * 預流 AOI System 檢測區 * 即時的 CIM 系統 (選用) * 16 bins 之高產出
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華康半導
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Pre-clean 清洗設備
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PSG 磷硅玻璃去除設備
* 去除爐管製程中產生之磷硅玻璃 * 高產能及低破片率之批次式 (Batch-Type)全自動清洗設備 * 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理 * 採用特殊乾燥系統設備，有效降低 -
太陽能矽晶片連續式多晶制絨設備
* 全自動行程生產 * 全機採耐酸鹼材質，抗腐蝕 * 穩定之高產出率及低破片率 * 全自動補液技術 * 優良製程能力及製程監控系統 * 可依客戶產能需求搭配之客製化設備 -
太陽能矽晶片批次式單晶制絨設備
* 全自動行程生產 * 優良製程調控能力 * 穩定之高產出率及低破片率 * 獨立製程監控支持系統 * 全自動補液技術 * 符合客戶需求之客制化設備 * 採用特殊乾燥