CKPP 光罩自動化傳送盒

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。

#光罩傳送盒#光罩自動化傳輸盒

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / CKPP / 光罩載具

產品名稱：CKPP 光罩自動化傳送盒

產品編碼：RSP-CKPP

產品尺寸：
　214.5(L) x 229.8(W) x 92.5(H)mm

重　　量：1188g

容　　量：1 PCS

適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

組成材質：PEEK

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF規範之機台，皆有可相容的型號產品提供。

吋別	材質	產品編碼	充氣功能	金屬遮蔽	裝箱數
ASYST ASML Pod	ABS	RSP-A-A	x	x	4 PCS
ASYSYT Metal Pod	ABS+SUS	RSP-A-M	x	v	4 PCS
ASYST NIKON Pod	ABS	RSP-A-N	x	x	4 PCS
BKM7 (RSP150)	PEEK	RSP-BKM7	v	v	4 PCS
UPPP (RSP150)	PEEK	RSP-UPPP	v	v	4 PCS
UPNP (RSP150)	PC	RSP-UPNP	x	x	4 PCS
CKPP (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP	v	x	4 PCS
CKAP (RSP150)	ABS	RSP-CKAP	v	x	4 PCS
Nikon Reticle Case	ABS+AL	NR-C150	x	x	14 PCS

專利字號：台灣專利字號第M409239號


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中勤實業

公司位置：桃園市-龜山區

統一編號：22907106

開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用，提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。

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光罩擦拭機，清潔光罩，雙邊移動擦拭座，擦拭棒採快速更換設計。復歸式把手，保持擦拭棒於預擦拭位置上方。防塵蓋(Pellicle護蓋)設計搭配照明燈、萬向燈架，設有照度調整鈕以及焦距調整環
點Pellicle Particle機台

用無水酒精去除光罩pellicle上面的髒汙專利字號：台灣專利字號第M557839號中國大陸專利字號第CN207457699U號
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