光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。

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光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST ASML Pod

產品名稱：
ASYST ASML Pod 光罩自動化傳輸盒

產品編碼：RSP-A-A

產品尺寸：230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm

重　　量：1298.5g

容　　量：1 PCS

適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

組成材質：ABS / PC

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。

吋別	材質	產品編碼	充氣功能	金屬遮蔽	裝箱數
ASYST ASML Pod	ABS	RSP-A-A	x	x	4 PCS
ASYSYT Metal Pod	ABS+SUS	RSP-A-M	x	v	4 PCS
ASYST NIKON Pod	ABS	RSP-A-N	x	x	4 PCS
BKM7 (RSP150)	PEEK	RSP-BKM7	v	v	4 PCS
UPPP (RSP150)	PEEK	RSP-UPPP	v	v	4 PCS
UPNP (RSP150)	PC	RSP-UPNP	x	x	4 PCS
CKPP (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP	v	x	4 PCS
CKAP (RSP150)	ABS	RSP-CKAP	v	x	4 PCS
Nikon Reticle Case	ABS+AL	NR-C150	x	x	14 PCS

專利字號：台灣專利字號第M409239號


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中勤實業

公司位置：桃園市-龜山區

統一編號：22907106

開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用，提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。

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中勤實業產品

光罩擦拭機

光罩擦拭機，清潔光罩，雙邊移動擦拭座，擦拭棒採快速更換設計。復歸式把手，保持擦拭棒於預擦拭位置上方。防塵蓋(Pellicle護蓋)設計搭配照明燈、萬向燈架，設有照度調整鈕以及焦距調整環
點Pellicle Particle機台

用無水酒精去除光罩pellicle上面的髒汙專利字號：台灣專利字號第M557839號中國大陸專利字號第CN207457699U號
AGV 無人搬運車

搭載機械手臂可行進於各工站之間搬運晶圓盒，高效、準確、靈活地完成自動化載具搬運傳輸。可由多台AGV自動無人搬運車組成物流搬運系統，搬運路線可以隨著進程調整，從晶圓包裝、承載、儲存、搬運、物流、自動化全方位的整合服務。
Wafer Aligner - 晶圓尋邊器

承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中 1.有多種材質可選擇，一般材質或抗靜電皆可提供 2.將方向不同邊的晶圓片作整理，使其缺口處方向一致
晶圓轉換器

承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體、二級發光體長晶磊晶電池片製程中，有多種材質可選擇，一般材質或抗靜電皆可提供，將不同TYPE Cassette 內的晶圓作轉換移位
真空吸筆組

Vacuum Picker / Vacuum Pen / 真空吸筆組 / 晶圓吸筆組用於吸附晶圓，有多種材質可選擇，耐高溫、耐酸鹼、抗靜電皆可提供。有球閥型/直插式2種型式。
Wafer Clamp - 晶圓夾具

Wafer Clamp / 晶圓夾具可夾取晶圓，有多種材質可選擇，耐高溫、耐酸鹼、抗靜電皆可提供。
Cassette 光學自動檢測系統

『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸，避免因為晶圓盒變形產生不必要的損失。
太陽能晶片高精密快速檢驗治具

太陽能晶片高精密快速檢驗治具產品名稱：太陽能晶片高精密快速檢驗治具治具轉換，依客製化設計
ACI to J R 專用轉換治具

Cassette對Cassette之晶圓轉換，將A TYPE (or J TYPE)太陽能卡匣內100片晶片，30秒轉換至J TYPE(or A TYPE) 卡匣。