製程耐溫密封卡匣

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣，承載薄化晶圓用於一般製程，可耐溫120度，附蓋設計，加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。

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200mm(8吋) 13 Slot Special Wafer Cassette (PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

產品名稱：8" 13 Slot Special Wafer Cassette / 製程耐溫密封卡匣

產品編碼：PE-C200

產品尺寸：292.2(L) x 220.53(W) x 325.88(H)mm

重　　量：2130g

容　　量：13 PCS

適用晶圓：8 inch (Ø200mm)

組成材質：PEI

槽　　距：18.5mm

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣，承載薄化晶圓用於一般製程，可耐溫120度，附蓋設計，加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。Cassette 設計有機械夾板，支援自動化傳輸，並有RunCard設計。

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣

材質	耐溫度	特性	Cassette 應用
PFA Cassette	200~220℃	耐強酸強氟酸強鹼	酸鹼製程中使用
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接。	一般傳輸製程
PEEK Cassette	150~180℃	硬度高、耐高溫，不易變形。
PBT Cassette	100~120℃	抗燃、耐油性佳
PEI Cassette	120℃	耐磨、抗靜電性。

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