鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋)

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

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鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋) (High Profile)

產品名稱：6" Teflon Cassette / PFA Cassette

產品編碼：PF-C150

產品尺寸：
　143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm

重　　量：1043g

容　　量：25 PCS

適用晶圓：6 inch (Ø150mm)晶圓

組成材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA

槽　　距：4.76mm

進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 2"~8" 25 slot (High Profile)

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別	備註	產品編碼	尺寸	裝箱數
2"	無豆	PF-C050-B	142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm	10 PCS
2"	有豆	PF-C050	142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm	10 PCS
2.5"		PF-C060	142(L) x 79(W) x 73(H)mm	N/A
3"		PF-C075	142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm	1 PCS
4"		PF-C100	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
4"	鏤空	PF-C100-H	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
5"		PF-C125	152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm	6 PCS
6"		PF-C150	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	黑色	PF-C150-B	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	12 Slot	PF-C150-T	177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	Low Profile	PF-C150-L	143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm	12 PCS
8"		PF-C200	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	鏤空	PF-C200-H	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	13 Slot	PF-C200-T	203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	Low Profile	PF-C200-L	220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm	1 PCS
12"	13 Slot	PF-C300-T	350(L) x 180(W) x 320(H)mm	N/A

Cassette依材質特性的選擇參考：

材質	耐溫度	特性	Cassette 應用
PFA Cassette 鐵氟龍晶舟盒	200~220℃	耐強酸強氟酸強鹼	酸鹼製程中使用
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接，缺點易變形。	一般傳輸製程
PEEK Cassette	150~180℃	硬度高、耐高溫，不易變形。
PBT Cassette	100~120℃	抗燃、耐油性佳
PEI Cassette	130~150℃	耐磨、抗靜電性。

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公司位置：桃園市-龜山區

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