FOUP 前開式晶圓傳送盒

300mm FOUP 前開式晶圓傳送盒/ 晶圓傳輸盒，可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。

#前開式晶圓傳送盒#FOUP

產品名稱：FOUP 前開式晶圓傳送盒

產品尺寸：
440(L) x 348(W) x 338(H)mm

重　　量：6500g

容　　量：13 PCS，C type

適用晶圓：300mm(12吋)晶圓

組成材質：客製化

槽　　距：20 mm

300mm FOUP 前開式晶圓傳送盒/ 晶圓傳輸盒，可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電損害，進而促進良率。支援AMHS功能，尺寸符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

前開式晶圓傳送盒-正面

前開式晶圓傳送盒-背面

前開式晶圓傳送盒-專用鑰匙


FOUP CK313 13 slot C type	FOUP CK313 13 slot M type	FOUP CK300 25 slot

12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒款式對照
製程	產品編碼	材質	耐溫度	窗型	容量	支撐架	排氣孔間距
一般製程	CK300ST	PC	≤80°C	橘透窗	25 pcs	L+R 一般款	250mm
一般製程	CK313ST	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	L+R 一般款	160mm
一般製程	CK313ST-M2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	M type	250mm
一般製程	CK313ST-C2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	C type	250mm
一般製程	CK313ST-C1-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	160mm
一般製程	CK313ST-C2-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	250mm
高溫製程	CK313HT-C1-M	PEI	≤150°C	ESD活動氣密窗	13 pcs	C type	160mm
高溫製程	CK313HT-C1-N	PEI	≤150°C	無窗	13 pcs	C type	160mm

前開式晶圓傳送盒 C Type / M Type 設計薄片晶圓專用支撐架，可有效改善晶片翹曲 thin wafer warpage(bending)的問題。C Type FOUP適用warpage約2mm~5mm，M Type FOUP加上中央支撐可解決warpage > 5mm。
依製程需求，可選擇常溫版(ST)或可進烘烤的高溫版本(HT)，或全抗靜電版(FE)
耐高溫FOUP可達到製程整合，並可選擇可使用薄化晶圓的型號


耐高溫FOUP與活動後視窗	耐高溫FOUP活動後視窗安裝動態

12" 13 slot FOUP C Type 全黑後視窗 & 黑色 Run Card

專利字號：
台灣專利字號第M528296、I549881、 I586597、M563421號
中國大陸專利字號第CN205609490U、CN204348693U、 CN206259327U、CN208007736U號
韓國專利字號第20-0486265號

可加裝RFID

可加裝Run Card

最新洽詢: 4吋wafer詢價(急件)
~~(曾*智)~~ 2013-07-26; 尋找nand flash的廠商，請報價
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~~(顏*姐)~~ 2013-07-26

中勤實業

公司位置：桃園市-龜山區

統一編號：22907106

開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用，提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。

https://steki.web66.com.tw/web/NMD?postId=985313磁粉式電磁離合器

只、糸、電線、塑膠皮、薄膜以及各種紙袋、纖維類製品的捲取，捲出的作業時須保持恆定拉利，磁粉式電磁離合器、剎車以其優越的特

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光罩擦拭機

光罩擦拭機，清潔光罩，雙邊移動擦拭座，擦拭棒採快速更換設計。復歸式把手，保持擦拭棒於預擦拭位置上方。防塵蓋(Pellicle護蓋)設計搭配照明燈、萬向燈架，設有照度調整鈕以及焦距調整環
點Pellicle Particle機台

用無水酒精去除光罩pellicle上面的髒汙專利字號：台灣專利字號第M557839號中國大陸專利字號第CN207457699U號
AGV 無人搬運車

搭載機械手臂可行進於各工站之間搬運晶圓盒，高效、準確、靈活地完成自動化載具搬運傳輸。可由多台AGV自動無人搬運車組成物流搬運系統，搬運路線可以隨著進程調整，從晶圓包裝、承載、儲存、搬運、物流、自動化全方位的整合服務。
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承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中 1.有多種材質可選擇，一般材質或抗靜電皆可提供 2.將方向不同邊的晶圓片作整理，使其缺口處方向一致
晶圓轉換器

承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體、二級發光體長晶磊晶電池片製程中，有多種材質可選擇，一般材質或抗靜電皆可提供，將不同TYPE Cassette 內的晶圓作轉換移位
真空吸筆組

Vacuum Picker / Vacuum Pen / 真空吸筆組 / 晶圓吸筆組用於吸附晶圓，有多種材質可選擇，耐高溫、耐酸鹼、抗靜電皆可提供。有球閥型/直插式2種型式。
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Wafer Clamp / 晶圓夾具可夾取晶圓，有多種材質可選擇，耐高溫、耐酸鹼、抗靜電皆可提供。
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『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸，避免因為晶圓盒變形產生不必要的損失。
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太陽能晶片高精密快速檢驗治具產品名稱：太陽能晶片高精密快速檢驗治具治具轉換，依客製化設計
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