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脈衝直流電漿電源供應器
應用於鍍膜產業、半導體產業、光電產業、太陽能產業、低壓鍍膜電漿設備 可輸出頻率可調整、全自動且容易操作
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產品功能
應用於低壓鍍膜電漿設備
產品特色
微處理器控制
可設定的非對稱電壓輸出
具定電壓、定功率,定電流模式選擇
具減弧及電弧抑制
可應用於不同靶材鍍膜,如鎳、銅、鋁、鈦等
輸出頻率可調整
全自動且容易操作
設備穩定高,容易維護
可依客戶需求作更改
應用產業
鍍膜產業
半導體產業
光電產業
太陽能產業
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本公司具有全世界首屈一指的電漿與鍍膜專業技術,專長於IC、光電與通訊製程技術與設備的研發。
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電漿蝕刻機
適用於太陽能電池製程,對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻 -
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在大氣的環境下,快速的清除有機污染物達到元件表面清潔及改善的功能,有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度